白光干与仪遍及应用在许多职业查验测验中,关于现代越来越杂乱的工艺检测,也是爱莫能助,德国NanoFocus AG研制的

  Z轴分辨率为1nm，没有白光干与仪高，可是丈量到亚微米及以上尺度时精度和白光干与根本相同。

  a)无法检测到峻峭视点——当运用干与仪丈量峻峭视点的目标时，因为干与图画会集在这些区域，无法精确的搜集信息。（一般倾角35°）

  检测到峻峭视点*大83°——共焦测距体系，它使用白光反射强度能够丈量有大视点特性的形状，而且不会有噪点形状。

  a)受外表反射率约束——假如外表反射度欠好，丈量是难以履行，因而，许多样品并不能丈量。假如反射光在参阅面和丈量面有巨大差异，那么样品也是不能丈量的。（反射率有必要大于4%的样品才干丈量）

  a)全反射率丈量——可吸收反射光规模广，简直对样品没有特别的条件，一般显微镜能够看的，就能够看。（反射率0%-100%都能丈量）

  假如参阅面的反射率为 100%，一起丈量面的反射率也约等于 100%，则会显现明晰的干与条纹。